photolithography

A lithographic technique used to transfer the design of the circuit paths and electronic elements on a chip onto a wafer’s surface. A photomask is created with the design for each layer of the chip. The wafer is coated with a light sensitive film (photoresist) and is exposed to light shining through the photomask. The light hardens the film, and when the wafer is exposed to an acid bath (wet processing) or not ions (dry processing), the unhardened areas are etched away.

Thuật ảnh in litho Một kỹ thuật in litho được sử dụng để truyền thiết kế của các đường dẫn mạch và các yếu tố điện trên một chip vào một bề mặt của bành xốp. Một màn che ảnh được tạo thành với thiết kế cho mỗi lớp của chip. Bánh xốp được bao phủ bởi một lớp phim nhạy sáng (và được phơi sáng đối với vùng ánh sáng chiều qua màn che ảnh. Ánh sáng làm cứng phim và khi đó bánh xốp được phơi sáng để tắm acid (xử lý ướt) hoặc ions nóng (xử lý khô), các vùng không được làm cứng thì được in lại bằng acid.