micromechanics

The microminiaturization of mechanical devices (gears, motors, rotors, etc.) using similar photomasking techniques as in chip making.

Cơ học vi mô
Sự siêu tinh vi hóa các thiết bị co học (bánh răng, động cơ, rô to,..) bằng cách sử dụng các phương pháp che ảnh như trong việc chế tạo mạch.