dry plasma etching

A method for inscribing a pattern on a wafer by shooting hot ions through on a wafer by shooting hot ions through a mask to evaporate the silicon dioxide insulation layer. Dry plasma etching replaces the wet processing method that uses film and acid for developing the pattern.

dry plasma etching
Phương pháp khắc một mẫu lên một dấu xi bằng cách bắn cá ion qua mặt nạ để phơi khô lớp cắt silic dioxi. Phương pháp này thay thế phương pháp xử lý ướp vốn sử dụng film và axit để phát triển mẫu.